双层透明薄膜制备及氧含量对折射率影响研究

作者: 朱亚彬 ; 寇克瑜 ; 何帆

关键词: 透明薄膜磁控溅射技术全反射

摘要：利用磁控溅射技术在玻璃基片上分别沉积ZnOx薄膜、TiO2-y薄膜和TiO2-y/ZnOx双层透明薄膜,改变薄膜沉积过程中的氩气（Ar）和氧气（O2）的比例,获得具有不同氧含量的ZnOx薄膜和TiO2-y薄膜。采用椭偏仪测定所有样品的折射率,仔细研究薄膜中氧含量对折射率的影响。分别选择具有较大的折射率TiO2-y薄膜和具有较小的折射率ZnOx薄膜的生长条件,制备TiO2-y/ZnOx双层薄膜,获得光密媒质/光疏媒质双层结构,并观察到He-Ne激光从ZnOx薄膜入射到TiO2-y/ZnOx界面上发生的全反射现象。研究成果适用于大学生物理实验中的研究型实验或大学创新实验。

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双层透明薄膜制备及氧含量对折射率影响研究

作者: 朱亚彬 ; 寇克瑜 ; 何帆

关键词: 透明薄膜 磁控溅射技术 全反射

关键词: 透明薄膜磁控溅射技术全反射