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场发射扫描电镜条件对几种特殊样品形貌的影响
作者:阮涛 李琼 马彤梅 张燕红
关键词: 扫描电镜; 探头; 加速电压; 荷电;
摘要：以日立SU8220冷场扫描电镜为例,以静电纺丝、石墨烯、碳纳米管、镍钴材料、纤维素等为研究对象,研究了探头选择、加速电压等因素对样品形貌的影响。研究发现,U探头可以观察到较好的样品表面细节,L探头能够得到立体感良好的图像;高加速电压致使导电差样品荷电现象严重,无法得到高分辨率样品形貌,且容易掩盖极表面样品形貌;低加速电压能够抑制荷电现象,得到极表面样品形貌以及低衬度形貌,且对于观察不导电样品、热敏性样品有效果显著;镀膜能够有效解决样品荷电问题,但对于平整、孔径小样品,容易掩盖样品形貌。