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薄膜电感测试原理及方法
作者: 李喜玲 ; 乔亮 ; 郭党委
关键词: 薄膜电感 矢量网络分析仪 探针台
摘要：微器件的测试是保证器件质量和发展的关键手段。介绍了由矢量网络分析仪与探针台结合组成的薄膜电感测试系统，详细讲述了薄膜电感的测试原理及方法，实验样品验证了方法的正确性和可行性。
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