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TiO2覆膜层厚度的拉曼光谱测定
作者: 李耿 [1] ; 刘燕 [2]
关键词: 金红石型二氧化钛 覆膜厚度 拉曼光谱扫描
摘要：为解决TiO2覆膜层厚度值测定和验证问题，采用拉曼光谱一维线扫描技术，对金红石型TiO2覆膜的厚度和物相进行了测定。研究表明，通过金红石型T iO2位于610cm－1处的峰A1 g振动的拉曼谱峰强度信息，无损测得了微米级金红石型TiO2覆膜的厚度。
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