SEM工作距离和加速电压对图像分辨率的影响

作者: 严红 [1] ; 沈一骑 [2]

关键词: 扫描电镜工作距离加速电压图像分辨率

摘要：实验证明大工作距离和低加速电压会使SEM较高放大倍数的图像清晰度下降。理论研究表明,SEM图像分辨率主要取决于电子束斑和信噪比的大小,大工作距离会使电子束斑增大;低加速电压会使电子枪亮度下降、电子束流和信噪比减小,从而造成图像分辨率和图像清晰度下降。对于传统SEM,通过减小物镜光阑（电子枪栅极、阳极间距）,可对大工作距离（低加速电压）时图像清晰度的提高有一定帮助,但要从根本上解决,必须采用场发射电子枪。

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SEM工作距离和加速电压对图像分辨率的影响

作者: 严红 [1] ; 沈一骑 [2]

关键词: 扫描电镜 工作距离 加速电压 图像分辨率

关键词: 扫描电镜工作距离加速电压图像分辨率