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扫描电镜工作距离和加速电压与图像清晰度的关系研究
作者: 史永红 [1,2] ; 许长峰 [2] ; 缪有志 [2] ; 邹珍友 [3] ; 邹如意 [1] ; 杨梦 [2] ; 徐茂鑫 [2] ; 邢桂培 [2] ; 林国庆 [2] ; 王庆亚 [2]
关键词: 扫描电镜 图像清晰度 工作距离 加速电压
摘要：为阐明工作距离和电子束加速电压对扫描电镜图像清晰度的影响,实验比较了在不同的工作距离和加速电压条件下,大肠杆菌的扫描电镜图像清晰度和分辨率。并通过理论分析得出：工作距离缩短能加大入射角,导致图像分辨率提高;提高加速电压可增加样品中的二次电子发射,从而提高图像的清晰度,不过加速电压要适当,过低或偏高都会影响图像清晰度。