高校微机电系统加工实验室的管理与运行

作者: 王胜强 [1] ; 李冬玲 [1] ; 尚正国 [2] ; 贺学锋 [2]

关键词: 微电子机械系统超净间管理

摘要：微加工超净实验室是微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）研究的基础条件。超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要。结合重庆大学微机电系统加工实验室,对其现场管理、保障系统运行和设备管理、节能和高效利用、设计和技术管理等进行了简单介绍,同时对MEMS微加工工艺开发与技术管理进行了初步探索。

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高校微机电系统加工实验室的管理与运行

作者: 王胜强 [1] ; 李冬玲 [1] ; 尚正国 [2] ; 贺学锋 [2]

关键词: 微电子机械系统 超净间 管理

关键词: 微电子机械系统超净间管理